9月12日,华懋科技在投资者互动平台表示,公司参股公司徐州博康是国内领先的半导体光刻胶生产企业,也是国内为数不多具备原材料一体化生产能力的企业。
华懋科技称,公司徐州博康2022年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节突破不断,也得到了下游客户的认可,有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单,包括ArF-immersion产品及ArF-dry,KrF,I-line等。其中,ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。
目前,徐州博康的光刻胶单体共计近70款,其中有13款为ArF光刻胶单体,2款为KrF光刻胶单体;50多款光刻胶树脂,其中包括7款ArF树脂和6款高端KrF树脂;以及超过150款光敏剂,其中12款专为ArF光刻胶开发,10款专为高端KrF光刻胶开发。
据公开资料查询,徐州博康是目前国内真正实现光刻胶全产品链的现代化工厂,其聚焦的先进KRFIARF产品,经过十余年的努力,打破了日美对此类光刻胶单体的垄断,是国内唯一规模化量产DUV单体的企业,成功实现国产化。
此外,某头部公募基金人士表示,受华为新品手机发布的催化,近期光刻胶板块持续走强,在5G、物联网、智能汽车、云服务等下游旺盛需求的驱动下,全球半导体需求逐渐提升,而光刻胶为集成电路中极为重要的材料,作为图形媒介物质,用于芯片制造的光刻环节,是必不可缺的关键材料。
华懋科技表示,未来徐州博康一方面将继续努力攻克光刻胶的工艺配方,另一方面继续加大对单体、树脂和光酸等原材料的制造工艺的提升。
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