股民提问华微电子：公司此前获得发明专利授权“传片系统及光刻机”具体应用于光刻机什么部件？

9月11日，有投资者在股民留言板中向华微电子提问：据公司官网介绍，贵司于2021年4月6日获得发明专利授权“传片系统及光刻机”，请问该专利具体应用于光刻机什么部件？是否属于国产替代突破？

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